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华力集成申请优化金属层图形的OPC修正方法专利,增加光强不足的金属层图形特别是梳状图形的光强

国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“优化金属层图形的OPC修正方法”的专利,公开号CN120595531A,申请日期为2025年05月。

专利摘要显示,本发明公开了一种优化金属层图形的OPC修正方法,包括:步骤一、获取金属层图形中具有光强不足问题的第一图形。步骤二、对第一图形中各边进行筛选以得到具有光强不足问题的第一边。步骤三、对第一边上的修正点的个数和位置进行调整,且所设置的各修正点保证在生成掩模板以及进行模型拟合时,能使第一图形的宽度得到撑大以保证第一图形的光强增加。

天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2082次,专利信息2411条,此外企业还拥有行政许可345个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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