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苏州鸿盛半导体申请可调式半导体晶圆定位装置专利,解决污染物夹在光罩片与晶圆间引发曝光异常的问题

国家知识产权局信息显示,苏州鸿盛半导体有限责任公司申请一项名为“一种可调式半导体晶圆定位装置”的专利,公开号CN120600680A,申请日期为2025年05月。

专利摘要显示,本发明提供一种可调式半导体晶圆定位装置,涉及半导体器件制造领域,包括:安装座;所述安装座的前端面固定连接有一个固定底座;安装座内滑动连接有一个升降滑座;安装座内螺栓紧固连接有多组第三电动推杆;多组第三电动推杆输出轴的末端均与升降滑座的底端面连接;升降滑座的上部固定连接有一个辅助连接座;固定底座的顶端面固定连接有第一导向滑轨;第一导向滑轨内滑动连接有一个第一导向滑座。在升降滑座移动的过程中会带动控制齿条进行移动,随后通过一系列的传动使环形吹气架对半导体定位板进行吹气,解决了污染物易沉积在晶圆定位区域,导致光罩片下移时,污染物可能夹在光罩片与晶圆之间,引发曝光异常的问题。

天眼查资料显示,苏州鸿盛半导体有限责任公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州鸿盛半导体有限责任公司参与招投标项目9次,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可7个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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  • 原文链接https://page.om.qq.com/page/OtY9gq-5KHt4LtsfFufdM2nA0
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