伟智创申请多腔体氧化镓外延薄膜生长自动化量产装置专利，极大提高氧化镓外延薄膜功能件制作效率

国家知识产权局信息显示，广东伟智创科技有限公司申请一项名为“一种多腔体氧化镓外延薄膜生长自动化量产装置及其使用方法”的专利，公开号CN120591752A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明公开了一种多腔体氧化镓外延薄膜生长自动化量产装置及其使用方法，生长装置包括滑轨、衬底安装结构、待沉积衬底、若干个HVPE半导体外延生长装置、转运结构和MOCVD外延生长装置，衬底安装结构滑动安装在滑轨上，衬底安装结构上设置有若干个陶瓷支架，待沉积衬底能置放于陶瓷支架上，HVPE半导体外延生长装置位于滑轨上方，衬底安装结构能带动待沉积衬底移动至HVPE半导体外延生长装置的正下方，HVPE半导体外延生长装置下端设置有生长气体喷孔，HVPE半导体外延生长装置内的生长气体能从生长气体喷孔喷出，对待沉积衬底上表面进行初步沉积，转运结构能将待沉积衬底从陶瓷支架取下，并将待沉积衬底置于MOCVD外延生长装置中，MOCVD外延生长装置能对待沉积衬底进行二次沉积。

天眼查资料显示，广东伟智创科技有限公司，成立于2022年，位于佛山市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本510万人民币。通过天眼查大数据分析，广东伟智创科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，专利信息16条，此外企业还拥有行政许可11个。

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来源：市场资讯