细美事申请分析等离子体均匀性的等离子体分析装置等专利，可分析处理腔室中形成的等离子体均匀性

文章来源：企鹅号 - 金融界视点

国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“等离子体分析装置、等离子体分析方法以及衬底处理设备”的专利，公开号CN120594508A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，公开了能够分析在处理腔室中形成的等离子体的均匀性的等离子体分析装置和等离子体分析方法。用于在使用等离子体处理衬底的衬底处理设备中分析等离子体的装置包括光学系统，该光学系统被配置为调节从处理衬底的处理腔室入射到所述光学系统上的光的路径；相机，该相机被配置为捕捉在处理腔室中形成的等离子体的图像；以及图像分析器，该图像分析器被配置为使用由相机捕捉的等离子体的图像来分析等离子体的形式。相机在平行于衬底放置方向的水平方向上捕捉包含等离子体形状的图像。图像分析器评估图像中的等离子体形状的均匀性。