希尔福克斯申请用于等离子体室的L形等离子体约束环专利，一种用于等离子体室的等离子体约束环包含环形元件和圆柱形元件

文章来源：企鹅号 - 金融界视点

国家知识产权局信息显示，希尔福克斯有限公司申请一项名为“用于等离子体室的L形等离子体约束环”的专利，公开号CN120600612A，申请日期为2019年08月。

专利摘要显示，一种用于等离子体室的等离子体约束环包含环形元件和圆柱形元件。所述环形元件环绕所述等离子体室中的衬底支撑组件，并沿着被放置在所述等离子体室中的所述衬底支撑组件上的衬底所在的平面配置，所述环形元件包含多个孔洞。所述等离子体约束环的所述圆柱形元件从所述环形元件的外缘沿与被放置在所述等离子体室中的所述衬底支撑组件上的所述衬底所在的所述平面垂直的方向延伸。所述等离子体约束环为单件式的。