河南芯睿电子申请半导体晶圆光刻显影装置及其操作方法专利，避免涂布在晶圆上的显影液向晶圆侧面流淌

国家知识产权局信息显示，河南芯睿电子科技有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆光刻显影装置及其操作方法”的专利，公开号CN120595545A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明属于晶圆显影领域，具体的说是一种半导体晶圆光刻显影装置及其操作方法，包括显影机，显影机内壁的底部固定连接有电机，电机的输出端固定连接有加工台，加工台的顶部设置有吸盘，显影机内壁的顶部固定连接有液压缸；本发明提供一种半导体晶圆光刻显影装置及其操作方法，通过设置的挡环，避免涂布在晶圆上的显影液向晶圆侧面流淌，且避免涂布后的显影液快速挥发，通过设置的第一弹簧，避免挡环在向下移动的过程中与晶圆硬性碰撞，通过在涂布的过程中转动晶圆，使喷头对晶圆的涂布更加均匀，且通过设置的转动组件，在加工台转动的同时能够带动储料盒转动，使挡环转动，由此在晶圆转动时，环环转动转动，避免挡环对晶圆造成磨损。

天眼查资料显示，河南芯睿电子科技有限公司，成立于2014年，位于新乡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7406.3575万人民币。通过天眼查大数据分析，河南芯睿电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目1次，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可42个。

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来源：市场资讯