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长江存储申请三维存储器相关专利,提高最终形成的三维存储器的性能

国家知识产权局信息显示,长江存储科技有限责任公司申请一项名为“三维存储器、三维存储器的制作方法及存储系统”的专利,公开号CN120603252A,申请日期为2022年01月。

专利摘要显示,本发明涉及一种三维存储器、三维存储器的制作方法及存储系统,该三维存储器的制作方法包括:在衬底上形成堆叠结构,堆叠结构包括多个堆叠区域以及在第一方向上位于相邻堆叠区域之间的栅线缝隙区;形成贯穿堆叠区域中的堆叠结构的多个沟道孔、以及贯穿栅线缝隙区中的堆叠结构的多个虚拟沟道孔;形成贯穿栅线缝隙区中的堆叠结构的栅线狭缝,以去除多个虚拟沟道孔并将相邻堆叠区域中的堆叠结构分隔开,从而在堆叠区域中刻蚀形成沟道孔的过程中,能够避免由于栅线缝隙区形成的刻蚀材料易在靠近栅线缝隙区的沟道孔中堆积,而导致靠近栅线缝隙区的沟道孔刻蚀不足的问题,以提高最终形成的三维存储器的性能。

天眼查资料显示,长江存储科技有限责任公司,成立于2016年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12469608.0404万人民币。通过天眼查大数据分析,长江存储科技有限责任公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目1416次,财产线索方面有商标信息978条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可995个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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