三星显示申请沉积设备及使用沉积设备的沉积方法专利，公开一种沉积设备和使用沉积设备的沉积方法

文章来源：企鹅号 - 金融界视点

国家知识产权局信息显示，三星显示有限公司申请一项名为“沉积设备及使用沉积设备的沉积方法”的专利，公开号CN 120591762 A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，公开一种沉积设备和使用沉积设备的沉积方法。沉积设备包括：台，其上设置有基板，所述基板限定以i行j列(其中i和j为大于1的自然数) 布置的多个单元区；以及掩模，设置在台上，面对基板，并且限定以m行n列(其中m和n为大于1的自然数) 布置的多个开口。多个单元区中在行方向上彼此相邻设置的单元区之间的第一距离小于多个开口中在行方向上彼此相邻设置的开口之间的第二距离。