北方华创申请电连接结构等相关专利，解决晶圆承载装置容易损坏的问题

国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“电连接结构、下电极组件和工艺腔室”的专利，公开号CN 120601173 A，申请日期为2024年03月。

专利摘要显示，本发明公开一种电连接结构、下电极组件和工艺腔室，所公开的电连接结构用于晶圆承载装置，所述电连接结构包括绝缘基部和导电部，其中：所述导电部用于向所述晶圆承载装置供电，导电部包括顺序连接的第一刚性导电件、可形变导电件和第二刚性导电件，所述第一刚性导电件和所述第二刚性导电件穿设于所述绝缘基部，所述绝缘基部具有形变空间，所述可形变导电件设于所述形变空间内。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1121次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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来源：市场资讯