新凯来申请一种置中治具、晶圆定位装置及半导体加工设备专利，保证机械臂搬运的晶圆与卡盘的位置精确对准

国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种置中治具、晶圆定位装置及半导体加工设备”的专利，公开号CN 120600679 A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明公开了一种置中治具、晶圆定位装置及半导体加工设备，涉及半导体制造技术领域，旨在解决治具与卡盘的对中位置不能精确调节，不能示教晶圆在卡盘上的中心位置，导致机械臂搬运位置的精度不够，影响晶圆的生产的问题。该置中治具用于半导体加工设备，半导体加工设备包括卡盘和机械臂，卡盘用于承载晶圆，机械臂用于将晶圆搬运至卡盘，且包括：至少三个支臂和设置在支臂端部的调节组件以及中心参考部，调节组件适于调节置中治具相对于卡盘的位置，以使卡盘与中心参考部同心设置，机械臂能够根据中心参考部矫正晶圆搬运路径。如此，置中治具可以辅助卡盘定位，进而保证机械臂搬运的晶圆与卡盘的位置精确对准。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息137条，此外企业还拥有行政许可12个。

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来源：市场资讯