合肥工业大学等申请基于椭球镜双焦点特性的晶圆缺陷光致发光检测专利，提升晶圆表面缺陷检测的灵敏度与效率

文章来源：企鹅号 - 金融界视点

国家知识产权局信息显示，合肥工业大学;无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司申请一项名为“一种基于椭球镜双焦点特性的晶圆缺陷光致发光检测装置及方法”的专利，公开号CN120594543A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于椭球镜双焦点特性的晶圆缺陷光致发光检测装置及方法，涉及半导体制造检测技术领域，包括激发光源、明场照明光源、光线收集器、光线检测通道和运动平台。激发光源兼具激发与对焦光源的功能，将特定波长的激发光导向至晶圆表面，以激发晶圆的光致发光；明场照明光源将光源发出的照明光导向至晶圆表面，以获取晶圆表面的明场成像；光线收集器采用椭球镜对激发光源引发的光致发光和反射光进行收集，以及对明场照明光源的反射光进行收集；光线检测通道接收光线收集器收集的两种反射光和光致发光并用于检测；运动平台用于放置晶圆，水平致动晶圆实现激发光源、明场照明光源的扫描过程，垂直致动晶圆实现精细对焦。