埃克斯控股申请基于IMP的智能束流调校方法等专利，提高调校精准度

国家知识产权局信息显示，埃克斯控股（北京）有限公司申请一项名为“基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN120610527A，申请日期为2025年08月。

专利摘要显示，本发明涉及信息处理技术领域，尤其涉及一种基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质，通过KVM切换器实时获取每台IMP机台的操作界面图像，利用OCR视觉算法识别并提取操作界面图像中的当前束流参数和实时状态标识，获取当前晶圆批次号的工艺要求数据，将参数及状态数据和工艺要求数据进行整合，对整合数据进行数据清洗和归一化处理，得到预处理数据集，利用AI决策模型基于预处理数据集分析当前机台束流状态与目标工艺要求的差异信息，并根据差异信息计算出最优束流调校参数，提高调校精准度，适配复杂工艺要求，根据最优束流调校参数生成控制指令，IMP机台根据控制指令调整相关硬件模块参数，提升智能化水平。

天眼查资料显示，埃克斯控股（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本6225.3809万人民币。通过天眼查大数据分析，埃克斯控股（北京）有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目37次，财产线索方面有商标信息35条，专利信息86条，此外企业还拥有行政许可17个。

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来源：市场资讯