江苏芯创微申请水平传输晶圆夹持旋转清洗装置专利，提升清洗效率

国家知识产权局信息显示，江苏芯创微半导体技术有限公司申请一项名为“一种水平传输晶圆夹持旋转清洗装置”的专利，公开号 CN120613294A，申请日期为 2025 年 06 月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆加工清洗技术领域，具体是一种水平传输晶圆夹持旋转清洗装置，包括通过底座支撑固定的设备箱；所述设备箱内依次分隔设置有兆声仓、一号辊刷仓、二号辊刷仓和干燥仓，所述驱动轮和三个从动轮呈方形阵列在传送组件的传动间隙内，所述兆声仓和干燥仓内分别设置有兆声组件和干燥组件，所述一号辊刷仓和二号辊刷仓内均设置有辊刷组件，晶圆在传送组件的输送下会依次兆声仓、一号辊刷仓、二号辊刷仓和干燥仓中输送，利用两个滑动架同时向内侧移动对晶圆进行对中夹持，两个辊刷组件对晶圆表面进行双重刷洗，刷洗后的晶圆进入干燥仓内进行干燥，随着晶圆的连续送入，以进行连续加工，提升清洗效率。

天眼查资料显示，江苏芯创微半导体技术有限公司，成立于2024年，位于宿迁市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏芯创微半导体技术有限公司专利信息2条，此外企业还拥有行政许可1个。

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来源：市场资讯