合肥致真精密设备申请等离子体发生装置及沉积设备专利，提高工艺灵活性

国家知识产权局信息显示，合肥致真精密设备有限公司申请一项名为“一种等离子体发生装置及等离子体增强原子层沉积设备”的专利，公开号 CN120614741A，申请日期为 2025 年 08 月。

专利摘要显示，本发明公开了一种等离子体发生装置及等离子体增强原子层沉积设备，其中一种等离子体发生装置，包括等离子体发生模块和变距模组；所述等离子体发生模块包括反应管和线圈，所述线圈缠绕在反应管的外侧；所述变距模组包括若干可移动的滑块，缠绕在反应管外侧的线圈与所述滑块连接；当所述滑块移动时带动缠绕的每一圈线圈移动。由于不同的沉积工艺要求等离子体密度与强度不同，变距模组改变每匝线圈之间的间距，进而改变感应磁场的强度，通过感应磁场强度改变等离子体的特性、感应效率等。变距模组还能整体调整线圈的位置，从而改变线圈距离样品之间的高度，进而影响到达样品的等离子体密度。提高工艺灵活性。

天眼查资料显示，合肥致真精密设备有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本234.4827万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥致真精密设备有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目30次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息25条，此外企业还拥有行政许可4个。

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来源：市场资讯