聚时科技申请检测系统及方法相关专利，对于斜入射光束和垂直入射光束共用一条主射光束降低了系统的冗余

国家知识产权局信息显示，聚时科技（上海）有限公司申请一项名为“一种检测系统、检测方法及缺陷检测设备”的专利，公开号CN120609843A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体前道检测技术领域，为一种暗场检测系统及方法，具体为一种检测系统、检测方法、缺陷检测设备及缺陷检测方法。本申请实施例包括：光源、第一镜组和调节镜组，通过控制调节镜组在入射光束传播路径上的载入或载离形成具有不同入射角度的斜入射光束和垂直入射光束，实现对于入射光束不同入射方式的调节，对于斜入射光束和垂直入射光束共用一条主射光束降低了系统的冗余。

天眼查资料显示，聚时科技（上海）有限公司，成立于2018年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1594.3017万人民币。通过天眼查大数据分析，聚时科技（上海）有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息149条，专利信息285条，此外企业还拥有行政许可1个。

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来源：市场资讯