上海悦匠实业申请一种用于晶圆真空镀膜工艺腔的一体化温控平台及温控方法专利，提高散热效率

国家知识产权局信息显示，上海悦匠实业有限公司申请一项名为“一种用于晶圆真空镀膜工艺腔的一体化温控平台及温控方法”的专利，公开号CN 120608270 A，申请日期为2025年07月。

专利摘要显示，本发明提供一种用于晶圆真空镀膜工艺腔的一体化温控平台及温控方法，温控平台包括承载晶圆并进行晶圆镀膜的平台，平台设置于工艺腔的腔体中，平台顶端封闭以承载晶圆，平台底端形成有容纳腔，容纳腔中从上到下依次设置有加热片、制冷片和水冷散热结构，加热片与制冷片对平台进行加热和制冷以控制平台上承载的晶圆以及腔体中的温度；水冷散热结构给制冷片底部的热端散热；平台底部设置有封闭容纳腔的密封盖，密封盖的下方密封连接有升降传动结构，升降传动结构上下移动带动平台及其上的晶圆在工艺腔的腔体中上下移动。本发明通过加热片和制冷片实现对平台和腔体内温度的准确控制，通过水冷散热结构实现制冷片热端的散热，提高散热效率。

天眼查资料显示，上海悦匠实业有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3500万人民币。通过天眼查大数据分析，上海悦匠实业有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息25条，专利信息38条，此外企业还拥有行政许可4个。

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来源：市场资讯