上海矽睿科技申请MEMS晶圆检测系统专利，提高测试可靠性

国家知识产权局信息显示，上海矽睿科技股份有限公司申请一项名为“MEMS晶圆检测系统”的专利，公开号CN 120610146 A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本申请涉及一种MEMS晶圆检测系统，包括测试机、ASIC芯片和探针卡，ASIC芯片与MEMS晶圆上的晶粒后续形成的MEMS芯片相匹配，测试机与ASIC芯片信号连接，ASIC芯片与探针卡信号连接；探针卡设置有若干与MEMS晶圆匹配的探针，用于将MEMS晶圆上的晶粒在感应到对应的物理量时产生的模拟信号传递至ASIC芯片；ASIC芯片用于对模拟信号转换和处理，输出数字信号至测试机；测试机用于对接收的数字信号进行分析处理，得到MEMS晶圆的检测结果。在对MEMS晶圆的CP测试阶段，即可实现在MEMS芯片和ASIC芯片组装成传感器时才能进行的相关性能测试，更好地筛查MEMS晶圆上的晶粒，提高了测试可靠性、全面性。

天眼查资料显示，上海矽睿科技股份有限公司，成立于2012年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本170000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海矽睿科技股份有限公司共对外投资了15家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息242条，此外企业还拥有行政许可2个。

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来源：市场资讯