2025上海半导体展会·官方网站

2025上海国际半导体展览会

时间：2025年11月5-7日

地址：上海新国际博览中心

联系人：濮经理

前三位 （I86）中间四位 （0I62） 后面四位 （6297）

半导体设备制造技术堪称现代工业皇冠上的明珠，是支撑整个信息时代的精密基石。这项融合了量子力学、材料科学与精密机械的尖端科技，犹如在原子尺度上搭建的微观宫殿，其制造精度已达到令人惊叹的纳米级别。在超净无尘的晶圆厂中，光刻机如同精密的分子画笔，通过极紫外光(EUV)在硅晶圆上绘制出比人类发丝细万倍的电路图案；化学气相沉积(CVD)设备则像纳米级的3D打印机，以原子为单位逐层构建晶体管结构。

这项技术的核心在于对微观世界的极致掌控，工程师们需要同时驾驭等离子体物理、表面化学和热力学等多学科知识。以原子层沉积(ALD)技术为例，其通过交替通入前驱体气体的方式，可实现单原子层级别的薄膜生长控制，精度之高堪比在足球场上均匀铺撒单层细沙。而离子注入机则如同微观世界的精准制导系统，能将掺杂原子以特定能量植入半导体晶格预定位置，其定位精度达到亚纳米级。

当前最先进的5纳米制程技术，需要在1平方厘米的芯片上集成超过1.5亿个晶体管，这要求设备具备亚原子级的工艺控制能力。在温度控制方面，热处理设备的温控精度需保持在±0.1℃以内，相当于在千米长跑中误差不超过一个步幅。晶圆传送系统则采用磁悬浮技术，确保硅片在传输过程中振动幅度小于1微米，比蝴蝶翅膀振动的振幅还要细微。