屹唐股份：公司三大类设备均可应用于HBM芯片的生产
有投资者在互动平台向屹唐股份提问：贵司有HBM高带宽存储芯片生产相关的设备或者技术储备吗？屹唐股份回复称，屹唐股份作为集成电路设备细分领域的领先企业，拥有等离子体干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀和等离子体表面处理设备等具备丰富规模化量产经验的产品，公司三大类设备均可应用于HBM芯片的生产。
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