科创板半导体设备龙头“中考”：营收飙涨72％，杀入5nm工艺供应链

文︱周康

图︱网络

科创板半导体设备龙头——中微半导体（688012.SH）发布第一份半年报,无论是营收还是净利,均实现正向增。

8月22日，中微半导体发表了2019年上半年财报，1-6月实现营收8.01亿元，同比增长72.03%；净利润3037.11万元，与上年同期相比扭亏为盈。

杀入5nm工艺供应链

除了财报信息，中微半导体还公布了该公司产品的最新进展，其中等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从65nm到14nm、7nm和5nm的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用。

中微公司全称中微半导体设备（上海）股份有限公司，是一家国产半导体装备供应商，系科创板首批上市公司之一。

中微公司主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售。通过向下游集成电路、LED芯片、先进封装、MEMS等半导体产品的制造公司销售刻蚀设备和MOCVD设备、提供配件或服务实现收入和利润。

中微公司表示，今年上半年，公司刻蚀设备产品保持竞争优势，批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造。此外，公司已成功取得5nm逻辑电路、64层3D NAND制造厂的订单。

此外，中微公司的MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基LED设备制造商。

中微所说的5nm蚀刻机进入5nm供应链也不让人意外，实际上该公司去年就发布了相关消息了，旗下的蚀刻机已经获得了台积电的认证，后者的5nm生产线上就会使用中微公司的蚀刻机。

投资1375万元入股上海睿励

此前，中微半导体还发布公告称，拟对睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“上海睿励”）进行投资，金额为1375万元，投资完成后中微半导体持股上海睿励股权比例约为10.41%。

资料显示，上海睿励是国内集成电路工艺检测设备供应商，目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。其自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证，在3D存储芯片上达到64层的检测能力。

目前，上海睿励的产品已成功进入世界领先芯片客户3D闪存芯片生产线，并取得7台次重复订单，是目前进入该国际领先芯片生产企业唯一的国产集成电路设备产品。

此前，通过投资国内薄膜设备公司沈阳拓荆科技有限公司，中微半导体在集成电路薄膜设备领域进行了布局，中微半导体指出，此次投资上海睿励，是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤，将进一步形成产业链协同效应。