上海松江产LED晶圆倒片机将进入规模产线运行

由上海福赛特智能设备有限公司独立研发的LED半导体晶圆倒片机将于年内在三安生产线投入量产运营。该设备用于LED外延工艺，可实现晶圆从原料仓至PVD工序间，以及PVD工序到MOCVD间的周转。

上海福赛特介绍，该设备采用行业领先的洁净机器人、先进的激光传感器和CCD，以及自主研发的载盘寻边器等，配合自主研发的信息化系统，可自动与企业生产的MES系统实现数据交互，连接各个工艺段中的独立设备系统，组成闭环的智能信息化系统。同时，可实现晶圆自动上下片、晶圆寻边、晶圆Wafer　ID自动读取和校对、生产工单的解批和并批等。

上海福赛特表示，即将量产的LED半导体晶圆倒片机中的机电设计、控制软件、智能算法等十多项技术均由公司独立自主研发，拥有自主知识产权。