压电扫描台应用于纳米压印

纳米压印是一种全新的纳米图形复制方法，实质是将传统的模具复型原理应用到微观制造领域。它是通过将刻有目标图形的母版压印到相应的衬底（通常是一层很薄的聚合材料）上实现图形转移，以完成微纳米加工的光刻步骤。纳米压印技术是制作纳米结构的关键，具有广阔的应用前景。

利用芯明天P18.XY300二维扫描台，可带动镀膜镜片在0~300μm的平面内对读取的图像信息进行优化，同时控制激光器及扫描台，二者配合完成图像的纳米精度加工。

下图为通过芯明天运动控制软件操作二维压电扫描台，激光光刻的100μm×100μm图标。

P18.XY300压电扫描台

P18.XY300为二维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现375μm的高速扫描，运动直线性好，配套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，通光孔径为Ø35mm，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用的首选。

特点

·位移可达375μm/轴

·承载达3kg

·通孔直径：Ø35mm

·闭环重复定位精度高

阶跃时间

单点定位应用，P18.XY300S带载100g负载阶跃时间60ms。

技术参数