压电平台与手调、电动平台的集成：宏微复合压电平台！

压电平台的特点是纳米级高分辨率、毫秒至亚毫秒级响应速度、纳米级定位精度等，因此它非常适于快速、精准的位置调节应用，如样品的显微聚焦、微结构的超精密加工、光路的调整、毫牛级力的控制、图像的稳定及分辨率增强、白光干涉等等。

压电平台的位移一般在几百微米至毫米范围，而在很多应用场景中，都需要宏动平台（毫米级行程的手调台、电动台等）的辅助，在进行大范围的粗调后，再通过压电平台进行纳米级精确调节。

针对该类要求，芯明天提供定制化集成手调平台或电动平台的压电平台，从而既可完成位置的粗调，又可完成纳米级精度的精调。下图所示，为一款定制型宏微复合压电平台，集成手调台的压电平台。

该款宏微复合压电平台的粗调为XY方向，每轴行程为13mm，读数精度为10μm；压电平台精调部分的行程为100μm，精调分辨率达7nm，并且压电部分配有位置传感器，定位精度非常高。

详细参数如下。

粗调运动自由度：XY

粗调行程范围：13mm/轴

粗调读数精度：10μm

精调运动自由度：Z

精调行程范围：100μm

传感器类型：SGS

闭环分辨率：7nm

闭环线性度：0.2%F.S.

重复定位精度：0.1%F.S.

承载能力：300g

通孔尺寸：φ48mm