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技术再次突破,离目标不远了

过去,中国在许多领域的核心技术一直被西方"封锁"。但是现在,经过多年的不懈努力,中国已经克服了许多方面的困难。例如,我们所熟悉的光刻机就是一个典型的例子。

众所周知,光刻机是制造集成电路的核心设备。换句话说,每一个芯片在诞生之初都是由光刻机锻造而成,所以光刻机的精度直接决定了芯片性能的上限。然而,芯片在中国的发展一直很缓慢,因为荷兰公司阿斯麦(ASML)垄断了高精度光刻机,而且曾被禁止在中国销售。

因此,中国研究人员决定挑战这种"卡脖子"装置。经过长时间的克服困难,他们终于得到了一些东西。最近,有报道称他们找到了另一种方法来制造9纳米的光刻原型。你知道,去年11月,我们通过了验收的"超级分辨率光刻设备开发",只有10纳米的分辨率,现在我们已经达到9纳米级别,相信在未来7纳米以下技术节点目标会越来越近,到时候别人再想卡我们脖子难了。

值得一提的是,中国研究者开发的9纳米光刻实验样机是在没有任何参考技术的情况下,以一种全新的方式开发的。光刻技术不同于主流的光刻机。

例如,目前主流的光刻机通过不断降低光刻波长来作用于光致抗蚀剂上,但这次采用的是远场光学方法,突破了光致抗蚀剂使用两束激光衍射的极限,而光刻的最小宽度为9纳米。因此,无论从哪个角度看,这都是一次重大的创新。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20191104A0ARH800?refer=cp_1026
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