“洛阳硅片”助力“中国芯”加速崛起

硅抛光片生产现场 记者 张锐鑫 摄

日前，在洛阳单晶硅集团麦斯克电子材料有限公司超净车间里，伴随着轻微的机械传动声，一块块光滑如镜的银灰色硅抛光片正在自动化设备上接受检测。

曾诞生中国首条单晶硅生产线的洛单集团，如今在中国电子产业升级大潮中有了新担当。和一年前这条生产线上检测的产品全部为4英寸、5英寸、6英寸硅抛光片不同，目前这家企业更多生产的是曾为国产化空白的高新技术产品——8英寸硅抛光片。

从汽车、飞机到计算机、手机，现代工业、消费电子设备都离不开芯片等集成电路产品。作为重要的硅衬底基础材料，硅抛光片是芯片等产品不可或缺的上游原材料。

麦斯克公司副总经理焦二强介绍，在生产中，单晶硅棒经切割、研磨、抛光等工艺后成为硅抛光片，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸等规格。直径越大，意味着下游生产材料利用率越高，对其本身材料和技术的要求也越高。

近年，我国硅抛光片制造工艺取得较大进步。然而，高附加值的8英寸和12英寸硅抛光片绝大多数依然依赖进口，严重影响我国芯片产业竞争力和供应链安全。

洛单集团在4英寸至6英寸的小尺寸硅抛光片领域竞争力居世界前列，相关产品在国内市场的占有率在35%以上。围绕国家集成电路产业转型升级的迫切需求，2017年，该企业投资建设了年产36万片8英寸硅抛光片项目，以此为依托的“8寸晶圆技术研究及产业化”项目被列入郑洛新自创区产业集群专项。

“直径虽然只大了2英寸，却意味着全新的结晶工艺。研发过程就像‘摸着石头过河’，难度可想而知。”焦二强说。

在研发过程中，该企业独立完成了热场进行设计改造，突破了边缘剥离技术、纯水慢提拉干燥技术等，申请了包括3项发明专利在内的16项国家专利，背封膜均匀性、硅片平整度、表面微粗糙度等指标达到世界一流水平！

如今，走进洛单集团生产一线，员工们更多谈论的是如何精益求精做好每一片8英寸硅抛光片生产，让企业效益跃上新台阶。目前，该企业已完成4大类20个规格8英寸硅抛光片的研发和量产，为9家客户提供了23批次的认证片。产品不仅替代进口，满足了国内需求，还销往英国等国家，走向了国际市场。

“只有品质好，才能赢得客户信任。10月，我们刚刚签订了一张2万片订单，这是8英寸硅抛光片自去年10月试生产以来的最大订单，标志着我们的新产品正式站稳市场。”焦二强话语中带着自信。

下一步，该企业将加大8英寸硅抛光片市场推广力度，持续推进更加高端的12英寸硅抛光片研发，以高可靠的材料供应助力中国集成电路产业转型升级，迈向高质量发展。（洛阳日报首席记者 张锐鑫 通讯员 段学广）