聚焦新片区：积塔半导体特色工艺生产线一期在临港建成投片

疫情之下，上海集成电路企业韧性十足，加速复工复产。近日，位于临港新片区的积塔半导体特色工艺生产线一期建成投片。

临港新片区积塔半导体特色工艺生产线总投资359亿元，占地面积23万平方米。在特色工艺生产线的无尘生产车间，半导体芯片的整个制作流程被展示在墙上，原始晶圆要经过光刻、离子注入，刻蚀等步骤方能成为成品。

积塔半导体五厂厂长 戴学春：这个光刻工艺实际上反映了我们制造工艺的水平，现在目前的配置是有两台光刻机，我们可以做到月产5000片，当我们这个线全部填满的时候，能做到月产6万片。

作为上海市重大产业项目，积塔特色工艺生产线建设项目专注于模拟电路及功率器件的制造，支撑工控、汽车电子、智能电网、能源等产业发展，全面达产后将成为国内领先的车规级特色工艺生产线，可进一步完善上海集成电路产业高地布局。

积塔半导体公司首席运营官 郭强：我们积塔半导体这个项目首先在设备采购方面就选择了国际上比较先进的一些生产设备，为我们制造出高端产品提供最基本的保障。公司在国家的支持下引进了一些核心的研发团队和生产运营管理团队，由此，我们就能开发出和国际上主要供应商相匹配相对应的高端功率器件和模拟电路，保障我们的质量符合国际上汽车电子的规格要求。

据悉，今年初疫情突发，正处于设备密集搬入和组装期的积塔半导体新线项目面临严峻挑战。公司一手抓疫情防控、一手抓建厂，坚定按照预定节点成功通线投片，为积塔半导体新线实现年内量产奠定了坚实基础。

来 源：浦东电视台