一条半导体生产线的复工之旅

（电视通稿·国内·经济）经济新观察 | 一条半导体生产线的复工之旅（02’09”）

编辑：陈　梦　林　涵

审稿：杨永前

终审：常君丽

一读：蔡志坚

正文：

【解说】疫情之下，上海集成电路企业韧性十足，加速复工复产。近日，位于上海自贸区临港新片区的积塔半导体特色工艺生产线一期建成投片。

临港新片区积塔半导体特色工艺生产线总投资359亿元，占地面积23万平方米。在特色工艺生产线的无尘生产车间，半导体芯片的整个制作流程被展示在墙上，原始晶圆要经过光刻、离子注入、刻蚀等步骤，方能成为成品。

在整个工艺流程中，光刻是工艺难度非常高的一个步骤。光刻工作区内，产品要在一小时内经过五个步骤，在硅片上刻的细线要比头发丝还要细许多。

【同期】上海积塔半导体有限公司五厂厂长 戴学春

现在目前的配置是有两台光刻机，我们可以做到月产5000片，当我们这个线全部填满的时候，能大概做到月产6万片。

【解说】作为上海市重大产业项目，积塔特色工艺生产线建设项目专注于模拟电路及功率器件的制造，支撑工控、汽车、电力、能源等产业发展，全面达产后，将成为国内领先的汽车级特色工艺半导体生产线，可进一步完善上海集成电路产业高地布局。

【同期】上海积塔半导体有限公司首席运营官 郭强

在国家的支持下，引进了一些核心的研发团队和生产运营管理团队，这样我们就能开发出和国际上主要供应商相匹配的或者相对应的一些高端的功率器件和模拟电路，保障我们的质量符合国际上汽车电子的要求。

【解说】今年初突如其来的疫情使得正处于设备密集搬入和组装期的积塔半导体新线项目面临严峻挑战。公司一手抓疫情防控、一手抓建厂，坚定按照预定节点成功通线投片，为积塔半导体新线实现年内量产奠定了坚实基础。

【同期】上海积塔半导体有限公司五厂工艺整合经理 刘峰松

我们主管工程师基本上都加班到凌晨两三点钟，有些主管工程师到第二天的11点钟才回去，整理数据分析，为下一轮（测试）提前安排。

新华社记者丁汀、严悦（报道员） 上海报道（完）。