今年的SEMICON China有哪些看点？奥林巴斯让你眼前一“亮”！

今年的《政府工作报告》中明确要求:“加强新型基础设施建设,发展新一代信息网络,拓展5G应用,建设数据中心”。而这些项目的发展,离不开半导体行业的支持。2020年6月26日-29日,全球最大的半导体产业盛会SEMICON China 2020在上海新国际博览中心拉开了帷幕。自1988年首次在上海举办以来,SEMICON China已成为中国首要的半导体行业盛事之一,囊括了当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商。作为百年光学企业,奥林巴斯携DSX1000、OLS5000、STM7等多款明星产品亮相本届展会,向大众展示了先进的光学产品在半导体行业中的应用及价值。

奥林巴斯展台

准确测量 快速故障分析

在半导体行业的生产、研发、质检等多个环节中,芯片针脚焊接的牢固性决定了产品是否合格,而对产品进行快速、精准检测至关重要。在本次展会上,奥林巴斯DSX1000数码显微镜的出现让参观者眼前一亮。相对于传统光学显微镜,奥林巴斯DSX1000数码显微镜可以使用户更充分地利用显微镜系统,更出色地完成检测工作,是进行故障分析的首选工具。

奥林巴斯DSX 1000数码显微镜

在检测过程中,用户常常需要面对多种复杂场景,DSX1000数码显微镜的电动变焦光路结合了先进的观察功能,可实现明场、暗场、MIX、偏光、斜射、微分干涉六种观察方法一键式切换及对比度增强,细微之处的缺陷划痕也可轻松观察。DSX1000数码显微镜还可实现多种样品的观察,显微镜头部和载物台都可以旋转± 90°,无论是薄样品还是大型样品的观察和分析都更易于实现。同时,DSX1000配备的远心光学系统使其在整个放大范围内的图像失真率极低,实现了有保证的准确度和重复性的高精度测量。

轻松实现亚微米级观测

随着芯片制程水平的不断提升,如今芯片已经进入到超精密加工时代,0.35-0.8μm及以下的亚微米级芯片、马达、传感器等相关零件成为充氦硬盘驱动器等设备的重要组件。同样作为出色的测量工具,奥林巴斯LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜也一同亮相SEMICON China 2020展会。

为了更好地进行产品生产和品质保证,奥林巴斯LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜能够通过非接触、非破坏的观察方式轻松实现3D观察和测量,精确测量亚微米级的形貌和表面粗糙度,在半导体检测工作中大显身手。

奥林巴斯LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜

在其他性能上,LEXT OLS5000也表现优异。比如在数据采集速度方面,OLS5000的采集速度比上一代加快了四倍;在操作程序方面,用户仅需按下“Start”按钮,就能立刻开启亚微米级的形貌测量;对于需要观察大型样品的客户,LEXT OLS5000的长工作距离物镜和选配的扩展机架使得其最大可适用210mm高度的样本,并能够测量深度达到25毫米的凹坑,助力研究人员观测更加具有挑战性的样品。

精准耐用 满足各种测量需要

如今,电子设备逐渐向微型化、精密化发展,集成电路(IC)和大规模集成电路(LSI)封装的印刷电路板(pcb)也随之需要缩小规模。倒装芯片键合(flip-chip bonding)技术的出现顺应了这种现状。这种技术通过在微芯片上制造小焊点作为连接终端,可将IC芯片直接安装在印刷电路板上,为了防止PCB键合过程中的缺陷和焊后短路,焊接之前必须精确测量焊点的高度。

奥林巴斯的STM7测量显微镜

奥林巴斯本次展出的STM7测量显微镜是快速准确测量这些焊点的最佳工具之一,其自动对焦功能可快速获得焊点顶部和底部位置的精确数据。同时,STM7测量显微镜能够以亚微米精度实现对零部件和电气组件的高性能进行三轴测量,可满足用户多种测量需求,如12寸晶圆大范围测量、Wafer表面测量、表面贴装测量、芯片封装测量等。

由于采用了UIS2无限远校正光学系统,通过STM7测量显微镜观察到的图像具有高分辨率和高对比度,可完全消除像差,确保了对微小细节的高精度测量。同时,其简单易操作的“实用风格”,可同时满足新手和的高精度测量需求,为专业测量提供助力。

创新型光学器件为产品提供保障

除了先进工业显微镜,奥林巴斯为工业领域的先进应用开发的高品质物镜也是本次展会的一大亮点。多款物镜产品可集成到任何光学机械系统,帮助用户实现包括可见光和近红外波长、长工作距离、浸没、盖玻片校正和白光干涉仪在内的各种高质量成像和测量应用目标,为产品提供保障。

其中,奥林巴斯MPLAPON平场复消色差系列物镜,拥有奥林巴斯最高水准的色差校正和高分辨率,确保了高水准的像差校正功能,可对应微分干涉及简易偏光观察。MPLFLN半复消色差物镜则可在较长的工作距离和超高的数值孔径之间实现平衡的明视野,具有较高的性价比。

MPLAPON平场复消色差系列物镜

MPLFLN半复消色差物镜

在本次SEMICON China 2020展会上,观众们在感受奥林巴斯工业显微镜优异成像性能的同时,更感受到了奥林巴斯在百年探索历程中沉淀的匠心精神。依托在光学领域累积的先进技术和经验,奥林巴斯不断进取开拓,通过研发先进的工业显微镜产品为半导体行业的发展贡献力量。未来,奥林巴斯将继续密切关注中国半导体行业,为行业的蓬勃发展贡献更多力量。