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又一突破!清华团队攻克光刻机,华卓精科冲刺科创板!

如果说我国在芯片技术最大的缺陷是什么?那么大家都会一致认同中国的光刻机技术太落后了,完全受制于荷兰ASML公司,其一台EUV光刻机售价就高达1亿欧元。我国科学家一直没有停止研制光刻机的脚步。

6月24日,上交所正式受理了北京华卓精科科技股份有限公司科创板上市申请。公司是国产高端光刻机龙头企业上海微电子的双工件台产品及技术开发的供应商,其光刻机双工件台打破了ASML公司在工件台上的技术垄断,成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。

华卓精科在光刻机双工件台技术上的突破,为我国自主研发65nm至28nm双工件干台式及浸没式光刻机提供了技术赋能,其对于国产核心装备发展具有远大的战略意义。

除此之外,获得上海半导体装备材料基金的重点投资,所以对外华卓精科在重大科研成果产业化上也扛起了一大重任。作为技术驱动型企业,公司也表示将通过加大研发投入,让更多高端技术能够及时面向需求是市场提供核心零部件产品。

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