在刚刚举行的中国第三届进博会上,正在参展的荷兰阿斯麦ASML展示制造7nm及以上制程芯片的DUV(深紫外光)光刻机。言下之意,DUV光刻机可以卖给中国客户,但EUV(极紫外光)光刻机能不能卖给中国客户,取决于它能否拿到美国的出口许可证。
荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)全球副总裁、中国区总裁沈波在接受澎湃新闻专访时表示,该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度,对全球客户均一视同仁,在法律法规框架下,都将全力支持。不得不说ASML的回应太过圆滑,国内不缺DUV光刻机,特意发声明告诉我们可以供货。
如今又开始了,这次不就是告诉我们只要美国放行就可以供货。这不是陷入了死循环嘛,反正就是没提交货两年前中芯国际的7nmEUV光刻机。幸亏中芯知道ASML靠不住,规避光刻机的7nm技术今年也取得进展。
显而易见,EUV光刻机是阿斯麦ASML的安身立命之本。因此ASML在出售EUV光刻机问题上采取“挤牙膏”策略,一定程度上应该可以理解。而当中国客户有此类需求时,与其说是买EUV光刻机,还不如说是买出口许可证送EUV光刻机,因此单纯希望ASML出售EUV光刻机不现实,芯片要打破“卡脖子”困局始终还是要靠自身发展。
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