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中科院:终于突破5nm光刻机关键技术,或将打破垄断局面

芯片行业是如今电子产品为主的主要产业,而在半导体行业上我国起步晚,所以这项结束主要还是由西方主为主导的,我们的芯片技术也落后了别人差不多30多年。所以用于制造芯片的光科技成为了我们的老问题,这项被誉为继原子弹后的又一科技桂冠确实相当难突破。

而且就算直到今天,依旧没任何一个国家能够独立的制作出光刻机,包括美国。这是全体人类的智慧结晶,所以在这种情况下,我国要单独的研发出光科技的难度有多大可想而知。这可是用我们14亿人的智慧去碰撞全球的智慧,我国目前独立的光刻机只能达到28nm工艺。

可就算这28nm的光刻机,作用也不可小觑,这意味着我国至少能不被压垮,而且它已经能实现大量的科技生产需求了,而且事情也并非毫无进展,就在近期,中科院宣布:终于突破5nm光刻机关键技术,或将打破垄断局面。

这是位于苏州的中科院研究所带来的好消息,他们已经成功地实现了5nm的激光雕刻技术,更重要的是这项技术完全是绕开了ASML光刻机技术的独立技术,也就不可能和他们产生任何的专利技术上的纠纷问题。

据了解,负责这项技术的张子旸团队他们才用了新型的三层薄膜叠加的方案,然后使用了双激光技术,他们对激光的波长等进行高精度的控制,这样就把它精确到了5nm。这与ASML公司的极紫外雕刻是完全不同的两个概念。

光刻机的设计真的比我们想象的更加困难,由于别人西方起步比我们早,很多设计过程中的专利问题很难绕开,所以就算你有了解决方案,也得绕开别人的专利问题去解决。而这个集全体人类智慧的机器上面有多少专利,可想而知。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20201128A0BN2500?refer=cp_1026
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