北方华创刻蚀机1000腔顺利交付

本报记者 向炎涛

近日，北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）刻蚀机1000腔交付仪式在公司亦庄基地隆重举行。这不仅是北方华创发展征程中的重要里程碑，更是国产刻蚀机在历经二十载自主创新后，得到客户广泛认可的重要标志。

2005年，北方华创研制的国内首台8英寸刻蚀机在客户端上线。之后，公司又相继推出多款12英寸刻蚀机，12英寸ICP刻蚀机在实现客户端28纳米国产化替代的同时，在14/7纳米SADP/SAQP、先进存储器、3DTSV等工艺应用中也发挥着重要作用。

除在集成电路领域获得突破外，北方华创积极将刻蚀技术横向拓展，目前应用领域已覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基显示等多个领域。

北方华创表示，站在两个百年的历史交汇点，从首台国产8英寸刻蚀机到今天应用于存储器的第1000腔出厂，北方华创在刻蚀技术上持续深耕、不断提升，跨过了一个又一个先进制程。未来，北方华创将持续在等离子刻蚀ICP技术领域寻求更多突破。

（编辑 张明富）