芯片制造关键装备 离子注入机成功实现全谱系国产化

国产离子注入机。图为研究人员正在进行相关测试。中国电子科技集团供图

人民网北京3月17日电 (赵竹青)据中国电子科技集团17日消息，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

离子注入机是芯片制造中的关键装备。据悉，多年来，电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术，自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，累计形成核心发明专利413项，实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展，有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。

电科装备表示，下一步，将瞄准高端，紧跟先进工艺发展，加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。