上海新阳：已有ArF光刻胶产品，但因疫情等因素致认证进度较慢

集微网消息（文/林雪莹）3月16日，上海新阳在投资者互动平台表示，针对Arf光刻胶最新进度的问题作出回应，称近期公司已有ArF光刻胶产品，受疫情及客户产线情况等各类因素影响导致认证进度较慢，但公司已有部分光刻胶产品取得客户订单。

另外，上海新阳针对公司生产的krf光刻胶品质与销量也做出回应，其称公司生产的KrF光刻胶已经拿到部分晶圆制造客户订单，并表示目前光刻胶订单在上海生产，还未大规模量产。

资料显示，上海新阳目前主要从事两类业务：一类是集成电路制造及先进封装用关键工艺材料及配套设备的研发、生产、销售和服务，并为客户提供整体化解决方案；另一类是环保型、功能性涂料的研发、生产及相关服务业务，并为客户提供专业的整体涂装业务解决方案。其主要产品是半导体晶圆制造及先进封装用电镀液及添加剂、半导体晶圆制造用清洗剂、半导体封装用电子化学材料、半导体制造用高端光刻胶产品、半导体配套设备产品。

上海新阳迄今承担国家02专项研发项目有：“65-45nm芯片铜互连超高纯电镀液及添加剂研发和产业化”、“20-14nm先导产品工艺开发”项目任务课题“高速自动电镀线研发与产业”项目、“铜互连电镀工艺技术及产品的研发”等。

（校对/Andy）