盛剑环境：L/S设备性能已达到国外同行水平，并具备更好的性价比

集微网消息（文/姜翠）6月10日，盛剑环境在投资者互动平台上表示，公司在多年工艺废气治理经验的积累基础上，从2017年开始就布局研发、制造L/S等泛半导体工艺制程附属设备，已取得了诸多成果。目前公司L/S设备性能已达到国外同行水平，并且具备更好的性价比；特别是在交付能力、安装调试及售后服务响应速度、本土化制造供应链支持方面有较为明显的优势。

其补充道，在L/S等泛半导体工艺废气治理设备业务方面，国际设备供应商主要有Edwards Ltd、DAS Environmental Expert GmbH、Kanken Techno等。上述厂商目前在中国市场占据绝对市场份额。随着国内泛半导体行业的高景气度发展，特别是在国产替代和供应链安全的大趋势下，公司作为中国本土的泛半导体工艺废气治理系统解决方案服务商及制程附属设备供应商面临难得的历史机遇和发展空间。

据了解，公司设计、制造的泛半导体制程附属设备包括 L/S、LOC-VOC。

L/S 是 Local Scrubber 的简称，是泛半导体工艺设备PFCS污染物处理装置，用于对制程过程中产生的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，该设备一端与泛半导体工厂工艺设备相连，通过真空泵抽取工艺设备内产生的废气并进行分解；另一端与中央治理系统相连，将分解后的尾排气体排至中央处理装置并进行后续处理。L/S属于泛半导体工艺制程设备的一部分，其运行稳定性及气体处理效率要求高。

LOC-VOC是一种泛半导体洁净室EHS处理装置，用于处理洁净室内弥散的VOC气体，用于保障生产员工的职业健康和安全。泛半导体行业生产车间某些区域循环风中含有一定量的挥发性VOCs气体，影响职业健康和产品良率。含有VOCs的气体通过沸石，VOCs被吸附，洁净气体排至车间，小风量的高温气体从沸石上脱附出高浓度的VOCs，排至VOCs中央处理装置，集中处理达标排放，有助于提高客户制程的产品良率。

除此之外，盛剑环境在光电显示、集成电路等泛半导体产业工艺废气治理领域具有领先的竞争优势和自主创新能力，拥有多项自主研发的核心技术成果，产品主要包括系统类产品及设备类产品。系统类产品包括泛半导体工艺废气治理系统、湿电子化学品供应与回收再生系统，以定制化的研发设计、加工制造、系统集成及运维管理为主要生产模式，目前主要核心设备能够实现自产或定制化设计；设备类产品包括工艺排气管道、中央废气治理设备、泛半导体制程附属设备等。

资料显示，盛剑环境主营业务为专注于泛半导体工艺废气治理系统及关键设备的研发设计、加工制造、系统集成及运维管理,致力于为客户定制化提供安全稳定的废气治理系统解决方案,为产业绿色生产创造价值。公司主要产品与服务有工艺废气治理系统解决方案、废气治理系统及设备。

（校对/Andy）