先进工艺带动，ALD/CVD前驱体市场持续快速增长
集微网消息，研究机构TECHCET日前发布报告分析，全球ALD/CVD前驱体市场规模2021年为13.9亿美元，同比增速达到21%，预计今年将进一步增长至15.6亿美元。
TECHCET高级分析师 Jonas Sundqvist 表示，ALD/CVD前驱体市场前景广阔。7纳米以下节点逻辑器件以及3D NAND存储器件，带动集成电路制造工艺日趋复杂，沉积工序增多，ALD/CVD前驱体需求也随之增加，此外，随着先进封装技术发展，TSV等垂直互连所需的阻挡层、种子层工艺也对相关材料带来增量需求。（校对/Aileen）
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