芯源微前道产品生产已排到明年

《科创板日报》8日消息，近日，芯源微披露调研纪要显示，公司前道涂胶显影机offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售，前道领域产品已经实现快速放量。目前在手订单饱满，前道产品排产均已到明年。

公司资料显示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。芯源微公司总部位于沈阳市浑南区，并在上海临港设有全资子公司。公司总部占地4万平米，拥有专业的集成电路工艺开发和检测实验室以及半导体设备生产组装车间。芯源公司通过多年技术积累、创新提高，形成自主知识产权体系。

目前，公司开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。芯源公司连续承担国家02科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目，连续两年被评为中国半导体行业十强企业。

根据智慧芽数据显示，芯源微及其关联公司目前共有470件专利申请，其中发明专利超过350件，公司专利布局主要聚焦于半导体、光刻胶等相关领域。