中微公司全球第500台MOCVD设备成功交付

《科创板日报》10月26日消息，25日，中微半导体设备（上海）股份有限公司宣布其全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。本批次运付的第500台MOCVD设备为中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax，主要用于氮化镓基Mini LED外延片量产。

公开资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司成立于2004年，是一家微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供设备和服务。中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。

中微公司专注于研发干法刻蚀（等离子体刻蚀）设备，用于在晶圆上加工微观结构。干法刻蚀通过等离子释放带正电的离子来撞击晶圆以去除（刻蚀）材料。根据所要去除材料和加工器件结构的不同，可分为电介质刻蚀、导体刻蚀和硅通孔刻蚀。中微公司凭借一系列刻蚀设备组合处于刻蚀创新技术的前沿，帮助芯片制造商加工10纳米、7纳米甚至5纳米及更先进的微观结构，具有成本优势。中微公司自主研发生产的刻蚀设备用于制造先进的半导体器件，以推动人工智能、机器学习和机器人技术的发展。这些半导体器件还能提供逻辑和存储器，以应用于消费者电子产品、5G网络、功能强大的服务器、自动驾驶汽车、智能电网等领域。

智慧芽数据显示，及其关联公司累计申请专利2000余件，其中发明专利1700余件，占比超过85%。该公司在中国、美国、韩国、日本、德国等国家拥有专利技术布局。通过进一步分析其专利技术数据可知，该公司在等离子体、反应腔、半导体、反应室等领域拥有丰富专利布局。