SEMI半导体的认证具体要求

SEMI( 半导体设备与材料的国际性组织 ) 是半导体工业的全球执行联盟，成立于1970年，总部位于美国加州。

SEMI之下的安全工作小组制定了一套适用于半导体及平面显示器制造设备的环境、安全及健康的效能的标准，由此发展出SEMI S2国际安全指引的工业评估应用方式。符合SEMI S2，不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。

SEMI S2以效能考量为主，涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件。

与其他SEMI指令，如SEMI S8（人体工学要求）和SEMI S10（风险评估）一起使用 ，SEMI S2代表了半导体厂家的基本安全要求。

半导体业者为了降低机械危害的风险，采取非常多类别的防制与管理措施，其中最典型的措施是在采购设备系统时，将SEMI S2安规认证列为必备的规格要求。

SEMI S2认证和遵守法规的途径：

对于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半导体制造设备的环境，健康和安全指南》。

实际上，其他产品安全准则可以视为支持S2。面向职业健康和安全的指南通常与制造商无关。

SEMI S2认证指南是由SEMI行业的领导者制定的，以确保每台设备都符合法规要求，并经过严格的安全标准检查。主要包括消防，电气危险防护，减轻机械危险，化学，辐射，噪声和人体工程学危险，通风要求，紧急停机程序，排气规格，危险警告警报和标签，文件要求等。

S2评估通常是买家作为保障的要求，并且可以作为出售的条件。

SEMI S2认证评估：

在电气/机械安全，化学暴露评估，通风，噪声，电离辐射，非电离辐射，激光，环境影响评估以及SEMI S2认证指南要求的其他专业领域通常SEMI S2评估将需要以下评估以支持核心S2评估：

提供给用户的文件

危险警告标签

安全联锁系统

紧急关机

电气设计

防火保护

加热化学浴

人机工程学和人为因素

危险能量隔离

机械设计

抗震保护

自动化物料搬运员

环境考量

排气通风

化学制品

电离辐射

非电离辐射和场

镭射 放射性物质

声压等级

SEMI常见安全标准：

SEMI标准中有材料（M系列）、设备（F系列）、平板显示器（D系列）、跟踪性（T系列）等，其中S系列规定了环境健康安全（EHS）的要求。

SEMI S1 装置安全标签 Safety Guideline for Visual Hazard Alerts

SEMI S2 半导体生产装置的环境、健康、安全Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S3 热化学槽的安全性 Safety Guidelines for Heated Chemical Baths

SEMI S4 橱柜收纳高压气筒的隔离／分离Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets

SEMI S5 流量限制设备Safety Guideline for Flow Limiting Devices

SEMI S6 换气Safety Guideline for Ventilation

SEMI S7 半导体生产装置的环境、健康、及安全性（ESH）评价Safety Guidelines for Environmental,Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S8 半导体生产装置的人机工程学Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S9 半导体生产装置的电气设计验证试验Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S10 风险核查Safety Guideline for Risk Assessment

SEMI S11 半导体生产装置的小环境的环境、安全性及健康Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments

SEMI S12 装置的去污Guidelines for Equipment Decontamination

SEMI S13 半导体生产装置的操作及维护手册Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S14 对半导体生产装置的火灾风险评估和降低Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S15 有毒及易燃气体的检测系统评价Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems

SEMI F47 电压瞬变能力规范 Voltage Sag Standard

SEMI认证办理：

沃证（VIACERT）SEMI专家团队可以帮助企业高效地解决半导体设备的安全问题，助力半导体企业满足最新的SEMI评估要求并取得SEMI认可报告，顺利打开半导体市场。