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盛美上海:今年会推出多种膜的PECVD,在客户端进行验证

集微网消息,近日,盛美上海在接受机构调研时表示,我们的PECVD可以覆盖存储及逻辑客户,今年会推出多种膜的PECVD,在客户端进行验证。部分PECVD的核心零部件来自海外的供应链。

盛美上海指出,PECVD有些工序时间长,有些工序时间短,我们会根据PECVD具体所属工艺长短来设计配备腔体的多少,有些膜需要很多层比较厚,所需时间长,需要腔体就多,单层较薄,需要时间短,腔体就少。我们主要做的是优化性价比并同时满足客户端的要求,二者共同决定腔体配置问题。补充一点,公司这个设备未来是要做PECVD的大部分工艺。

盛美上海称,今年希望有多台设备和多个客户进行合作,用并行的方式对工艺进行并行验证,同时看与客户的合作进度。如果合作顺利的话,希望能覆盖30%到50%,然后再继续发展。

关于哪些零部件是比较难实现国产化,盛美上海表示,主要是一些阀,如真空阀、真空泵等,这些公司也在做一些应对工作。此外机械手也是重要的一块,目前这个部分是找韩国一家核心供应商做的。未来公司还会持续发展追求多样化,争取拥有自己的特点。核心的机械手请几家公司来做,一般的常用的机械手可以开放地选择供应商。

关于PECVD设备的国产化,盛美上海指出,目前部分采用进口零部件,同时国产零部件供应商也在开拓中,有些国产零部件也会逐步试用起来,相信在不远的将来公司核心零部件也会替换为国产产品,但这需要一个过程。一些要求不算太高的可以尝试采用国产零部件,当国产零部件还不能完全胜任要求时会优先采用进口的。

据盛美上海透露,设备目标对应的全球客户,包括国内。现阶段这一台设备肯定是国内客户。韩国方面,公司在韩国有一些研发和生产,并且公司和海力士有过往渊源。公司也希望能靠差异化技术尽快进入它的核心工艺线,但不能保证明年做到。其实全球的客户需要的都是最好的技术,如果公司差异化方案能让客户感兴趣,那就是有希望的。现阶段公司已经有专利的布局和设计的底蕴在,也希望能得到国际客户的认可,早日进入国际客户进行验证。

盛美上海称,PECVD的价格不同,毛利也不同,现阶段还是在40%-45%之间,在未来随着技术的进一步提升和客户的认可,可能提升到45%-50%区间。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20230111A029Z200?refer=cp_1026
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