半导体技术的发展为电力电子行业的发展与进步提供了重要推动力,而半导体材料的应用为半导体产业的发展奠定了基础。
一、半导体材料进化史
上世纪中旬,锗(Ge)作为关键半导体材料在工业领域得到普遍应用。随着工业进程的不断推进,锗(Ge)的局限性日益凸显,半导体材料逐渐由抗辐射性能较差的锗(Ge)变为抗辐射性能较好的硅(Si)材料。此后,以硅(Si)材料为主的功率半导体器件成为了工业发展的主流。
二十世纪末期,功率半导体器件蓬勃发展,很多以硅(Si)材料为基础的功率器件相继问世,并在电力电子行业得以广泛应用,比如IGBT、GTO、IPM等。硅(Si)器件产业应用体系日趋成熟,但受到其本身物理特性的限制,硅(Si)材料无法满足高温、高压以及高功率密度等场合的应用。为满足行业需求的不断变化,市场将目光转移至半导体新材料——碳化硅(SiC),碳化硅(SiC)材料特性优势不断被发掘应用,成为备受关注的电力电子器件热门材料。
近年来,市场上的碳化硅(SiC)衬底的直径越来越大,位错、微管等缺陷的密度越来越低,碳化硅(SiC)半导体开关成品率不断提升,行业体系逐渐成熟。随着碳化硅(SiC)半导体开关突破了硅(Si)质开关电压(>1kV)和温度(>
二、碳化硅(SiC)半导体开关优势
在碳化硅(SiC)半导体开关以及硅(Si)质开关器件的对比中,碳化硅(SiC)半导体开关具备更优势的性能特征。碳化硅(SiC)半导体开关主要优点有高耐压能力、高功率密度、低损耗、高热导率、高开关频率等。
高耐压能力
碳化硅半导体开关的禁带宽度比硅质开关器件高3倍以上,临界击穿场强是硅质半导体开关的10倍以上,所能承受的峰值电压更高,输出功率更大。
高功率密度
相同电压等级下,碳化硅半导体开关的漂移区比硅质半导体开关器件更薄,使功率模块整体尺寸更小,极大提高了整个模块的功率密度。
低损耗
碳化硅半导体开关的导通电阻更小,有效降低开关过程中的导通损耗,提升了整个模块的效率。
高热导率
碳化硅半导体开关的热传导率是硅质半导体开关的3倍以上;具备更强的散热能力,降低了散热系统的要求。
高开关频率
碳化硅半导体开关的载流子饱和速率更高;载流子饱和速率相比硅质半导体开关高10倍以上,因此碳化硅开关拥有更高的开关频率。
由于优异的力学性能、良好的电学性能和热学性能,碳化硅(SiC)材料已经成为一种具有广阔应用前景的新型材料。更为重要的是,高性能新材料的涌现带动了新材料产业升级,催生出一系列新的装备和工艺,共同构成了产业的核心竞争力。新材料关键技术的突破与应用,推动制造业在关键领域的赶超与发展。
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