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上海新阳:ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中
文章来源:企鹅号 - 证券时报e公司
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e公司讯,上海新阳在互动平台表示,公司KrF光刻胶已批量化生产销售,ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中,EUV光刻胶尚在开发阶段。
发表于:
2023-01-28
2023-01-28 17:34:33
原文链接:https://kuaibao.qq.com/s/20230128A044AC00?refer=cp_1026
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