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离子注入

今天聊一下半导体工艺的一个知识,离子注入。离子注入是半导体掺杂以及改性常用的一个工艺。...离子注入机就是很关键的一环。...注入机是高压小型加速器中的一种,是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还能用于太阳能电池等的制造。...离子注入机的内部结构示意图如上,等离子体产生之后,经过加速器等控制,打到行星盘上。 在wafer上离子是每一个点一个点的注入打击。 注入机外观: 上两个国产的设备,中科信电子的。...目前,全球离子注入机根据其下游应用不同,可以分为IC离子注入机和光伏离子注入机,IC离子注入机方面,美国的应用材料几乎垄断了市场,占据了70%左右的市场份额,其次为Axcelis(亚克士),占据了近20%

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    等离子刻蚀技术

    最早报道等离子体刻蚀的技术文献于1973年在日本发表,并很快引起了工业界的重视。...等离子刻蚀的原理可以概括为以下几个步骤: ● 在低压下,反应气体在射频功率的激发下,产生电离并形成等离子体,等离子体是由带电的电子和离子组成,反应腔体中的气体在电子的撞击下,除了转变成离子外,还能吸收能量并形成大量的活性基团...在平行电极等离子体反应腔体中,被刻蚀物是被置于面积较小的电极上,在这种情况,一个直流偏压会在等离子体和该电极间形成,并使带正电的反应气体离子加速撞击被刻蚀物质表面,这种离子轰击可大大加快表面的化学反应,...由于电子在磁场和电场的共同作用下将作圆柱状回旋运动而不是电场下的直线运动,磁场的存在将直接导致反应气体电离截面的增加,磁场的引进会增强离子密度,并使得等离子刻蚀技术可以在更低气压下得以运用(离子密度的增加,撞击表面的离子能量也可以在不降低刻蚀速率的情况下被降低,从而提高刻蚀选择比。

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    等离子清洗机中射频等离子体的工作机理

    在现代科技的推动下,等离子体技术在各个领域中扮演着重要角色。而PLUTO-T型等离子清洗机作为其中的一员,其独特的工作机理使其成为清洗领域的一颗璀璨明星。...PLUTO-T型等离子清洗机采用射频等离子体来进行清洗工作。射频等离子体是一种高能离子化的气体,具有高温、高能的特点。其工作原理基于电离和化学反应的相互作用,通过释放大量能量来清洗物体表面。...具体来说,PLUTO-T型等离子清洗机中的射频等离子体是通过一个射频发生器产生的。该发生器会产生高频电场,将气体离子化并加热,形成高温高能的等离子体。...这些等离子体被喷射到待清洗的物体表面,通过碰撞和化学反应来去除表面的污垢和污染物。射频等离子体清洗的过程中,有两个主要的作用机制。...总而言之,PLUTO-T型等离子清洗机中射频等离子体通过离子轰击和化学反应的双重

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    动作身份验证

    动作提供了不同的身份验证模式,以适应各种用例。要为您的动作指定身份验证模式,请使用GPT编辑器并选择“None”、“API密钥”或“OAuth”。...默认情况下,所有动作的身份验证方法都设置为“None”,但您可以更改此设置,并允许不同的动作具有不同的身份验证方法。...无身份验证我们支持无需身份验证的流程,适用于用户可以直接向您的API发送请求而无需API密钥或使用OAuth登录的应用程序。...API密钥身份验证就像用户可能已经在使用您的API一样,我们通过GPT编辑器UI允许API密钥身份验证。当我们将密钥存储在数据库中时,我们会对其进行加密,以保护您的API密钥安全。...如果您的API执行的操作比无身份验证流程稍微具有一些后果,但不需要个别用户登录,则采用API密钥身份验证是很有用的。

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    等离子清洗机中氧等离子体刻蚀对石墨涂层的性能研究

    在氧等离子体轰击石墨涂层的过程中,基本的反应就是,氧等离子和石墨涂层中的表层C原子发生氧化反应,不论是生成了CO2或者CO,在等离子清洗机的反应腔内,是属于一种真空状态,所以反应的气体就会被抽离真空反应腔...,而相反各项异性水平刻蚀机制是指的是在同时刻蚀缺陷的情况下,氧等离子体刻蚀会优先寻找下层的缺陷在上层石墨涂层的缺陷被刻蚀的同时氧等离子体会优先寻找下层石墨涂层的缺陷,对于整体的石墨涂层陷刻蚀速率远大于非缺陷处的刻蚀速率...PLUTO-T等离子清洗机处理石墨案例       处理前  样品上贴了一片盖玻片作为阻挡        在经过PLTUO-T等离子清洗机处理之后,我们可以发现相对于处理前,处理后发生了很明显的变化。...,等离子体的流量,一定程度上可以制备出可控缺陷的石墨涂层。...说明氧等离子体刻蚀石墨涂层这一方法在制备石墨涂层方面有潜在的应用。

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    离子注入工艺的设计与计算

    介绍工艺之前,我们先聊一下昨天一个朋友提到的日本日新的离子注入设备。日本日新是全球3大离子注入设备商之一。 1973年的时候,该公司就开始做离子注入的工艺设备。 目前的主要业务设备如上表。...重点介绍激光领域用到的一款设备: 主要是注入H离子用的,可以达到400KeV的H+离子注入。...日新株式会社将在扬州经济技术开发区投资兴建离子注入机设备生产厂。 离子注入工艺参数 00 离子注入就像上图一样,把离子砸到晶圆中。涉及到使用的力度、数量、角度,砸进去的深度等。...设备可以选择工艺需要的价态离子进行注入。 如果单电荷可以做到400KeV的能量的话,对应3+离子可以做到1200KeV,可以直接倍速关系。...如果我们只知道需要掺杂的剂量,和离子能量,如何计算注入离子在靶材中的浓度和深度 例如一个140KeV的B+离子,注入150mm的6寸硅片上,注入剂量Q=5*1014/cm2,衬底浓度2*1016

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    锂离子带给动力电池的「爱与恨」

    目前各国科学家及研发机构也在寻找克服锂离子电池缺陷的解决方法,改善使用痛点。 短路的元凶究竟是谁? 锂离子电池最早由索尼在1991年推出,其原理是依靠离子在电极间运动产生能量。...而且,锂离子电池重量更轻、能量密度更高,更加适合用于驱动电动汽车。 与其优点比起来,锂离子电池的缺点很少,但是每个缺点都十分致命。 这其中严重的,就是锂离子电池内部的枝晶。...不过与锂相比,钠更重,制成的钠离子电池储能能力也不如锂离子电池。 换种方式,继续使用锂 除了锂离子电池,现在也有研究机构在研发锂金属电池。...与锂离子电池不相同的是,锂金属电池采用金属锂作为负极,依靠金属锂的氧化反应产生电能;而锂离子电池使用石墨作为负极,以含锂化合物作为正极,依靠锂离子不断获得、失去电子来实现电能传输。...与锂离子电池不同,锂金属电池中的锂离子获得电子后,直接以金属锂颗粒的形式,附着在负极上,从而形成枝晶状图案。

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    离线存储

    什么是离线缓存 离线缓存,就是将指定的网页文件(例如css、js)保存到本地,当用户没有网络时,依旧可以通过浏览器使用这些文件。...为何要用离线缓存 从网站所有者的角度来说,增加离线缓存功能,能够让用户更好的使用网站。 离线缓存的设置步骤 1 配置manifest文件 2 通过JS进行缓存的控制 manifest文件的配置 1....添加manifest属性 将需要离线缓存的文件罗列下来,存储于后缀名为manifest的文件当中, 在HTML文件中引入manifest文件。.../images/logo.jpg FALLBACK 离线缓存工作流程图 ? 使用JavaScript控制缓存 缓存的各类属性和事件,均绑定在“applicationCache”上。 1....0代表未缓存,通常是这些页面没有运用离线缓存技术,就是这个状态。 1代表空闲,当缓存是最新的时候为1,不需要做什么操作。 2代表检查中,即浏览器在检查manifest文件是否为最新。

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    OAuth 2.0身份验证

    在本部分中,我们将教您如何识别和利用OAuth 2.0身份验证机制中的一些关键漏洞,如果您不太熟悉OAuth身份验证,请不要担心-我们提供了大量的背景信息,以帮助您了解所需的关键概念,我们还将探讨OAuth...,它通常被用作一个ID来授予用户一个经过身份验证的会话,从而有效地让用户登录。...对于OAuth身份验证机制,基本OAuth流程基本上保持相同,主要区别在于客户端应用程序如何使用其接收数据,从用户的角度来看,OAuth身份验证的结果在很大程度上类似于基于SAML的单点登录(SSO),...OAuth 2.0验证识别 识别应用程序是否使用OAuth身份验证相对简单,如果看到从其他网站使用您的帐户登录的选项,则强烈表明正在使用OAuth。...未验证的用户注册 当通过OAuth对用户进行身份验证时,客户机应用程序会隐式地假设OAuth提供者存储的信息是正确的,这可能是一个危险的假设。

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    小型等离子清洗机结构组成

    小型等离子清洗机结构要点 传统的电容耦合式等离子清洗机结构,即内平行极板。...系统由三大部分组成包括真空系统、放电系统和控制系统 在容性耦合等离子产生装置下,电子密度与极板间距成正比例关系,平均电子温度与极板间距成反比关系,其均匀性与极板间距成正比关系即随着间距的增大均匀性变好...卧室电容耦合等离子清洗机,可以直接将工件放在下电极上,但是研究发现,等离子体密度最大区域,是在等离子区域2-8cm 之间,因此可以使用一个高度为3cm的支座,支座的放置也便于工件的取放。...电容耦合式等离子清洗机反应室本身为不锈钢管构成,电容极板位于真空室内, 因为金属本身对于辐射具有很好的屏蔽效果,所以不需要在对装置设置单独的屏蔽 装置,辐射和干扰都非常小,不会对控制系统造成干扰。

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