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Intel通过Ge离子注入实现微环共振波长的精确控制

通过控制退火温度与加热时间,可以实现对波导折射率的准确调节,从而达到对微环波长的精确控制(trimming),如下图所示。...可以看到,光电流的峰值波长逐渐蓝移,到达目标波长,实现了trimming的功能。...此外,研究人员还将trimming后的芯片在275mW的加热环境下,连续工作15小时,并没有发现共振波长的改变,由此可见该方案的稳定性。...Wafer加工完后,每个微环调制器的共振波长差异较大,在整个6nm的FSR区间内都有分布,而通过trimming后,每个微环的共振波长都在1310nm附近,只有+-32pm的偏差,前后的结果对比非常明显...Jayatilleka, et.al., "Post-Fabrication Trimming of Silicon Photonic Ring Resonators at Wafer-Scale",

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