2023国际半导体领域多孔质透气膜材料应用介绍

深圳国际半导体展览会于5月16~5月18日在深圳会展中心举行，展示以芯片设计及制造、集成电路、封测、材料及设备、5G新应用、新型显示为主的半导体产业链。有众多光刻机、晶圆制造、半导体制造、显示面板制造等设备厂商都集成了POD无尘拖链护套、部分设备真空吸附平台集成了透气多孔膜材料等。

1、POD无尘拖链护套

POD无尘拖链护套采用高分子PU与e-PTFE基膜（PD014\PD011）复合制成。POD无尘拖链护套专用e-PTFE基膜（PD014\PD011）具有低介电常数、耐摩擦、拉伸强度高、防尘阻液、抗酸碱及耐老化等特性。作为线束中的隔离带，其重量轻、一致性好。符合RoHS、REACH、卤素认证。

无尘拖链护套

2、透气多孔膜（超高分子量聚乙烯多孔膜）

多孔透气膜是采用超高分子量聚乙烯（UHMWPE）粉末经特殊工艺制作而成，形成一种多孔性透气膜（VLC502\VLC503\VLC505等）。它具有透气性和低摩擦系数，同时保持了超高分子量聚乙烯的耐化学性、耐磨性和黏性消除等特性。

超高分子量聚乙烯多孔膜

3、防水透气膜（微孔过滤膜）

防水透气膜是一种高分子防水透气材料，采用ptfe树脂经特殊工艺制作而成多微孔性过滤薄膜（ES681\ES682\ES672等），由于孔径小于水分子直径，而又大于气体分子直径，所以它能过滤气体中的杂质、使气液分离，壳体内外压力平衡、防水透气、微孔过滤排气。同时还具有ptfe本身的特性、疏水、耐高低温、防腐蚀等。在从多半导体制造设备中的传感器中比较常见。

防水透气膜

此外，微尔斯新材料事业部（VONM）作为专注于eptfe膜材料的开发与应用，依托掌握的密封防水防尘、微孔泄压排气、气压平衡等功能技术，还在半导体其他领域中提供防护产品，例如：管状透气膜、微孔过滤膜、防水透气阀等。