[工信部](https://wap.miit.gov.cn/gzcy/yjzj/art/2023/art_7795e5fb3e2
[工信部](https://wap.miit.gov.cn/gzcy/yjzj/art/2023/art_7795e5fb3e2442e292fb74c5e0c1bbd6.html )就《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见。
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