莱伯泰科：计划与国内头部晶圆企业合作将质谱仪辐射至半导体上下游单位 助力我国半导体产业发展

经济观察网 记者 李青阳 经济观察网讯 据莱伯泰科官方公众号7月18日消息，北京莱伯泰科仪器股份有限公司（以下简称“莱伯泰科”）2019年开始专攻电感耦合等离子体质谱的研发，已成功推出LabMS 3000单四极杆电感耦合等离子体质谱仪。目前，莱伯泰科与国内头部晶圆企业建立了合作关系，计划将LabMS 5000电感耦合等离子体串联四极杆质谱仪辐射到半导体上下游产业单位。莱伯泰科质谱研发部产品经理王娟表示，团队将针对行业特点开发湿电子化学品、实时在线晶圆中超痕量元素等分析方法，为半导体制作提供技术支撑，助力半导体行业发展。（实习记者 李青阳 编辑 李仕静）