展商动态 | 见行科技突破精度极限，精密位移及致动技术赋能高端制造

精密位移及致动技术的无可替代性

在高端制造与精密测量领域，纳米级电涡流位移传感器犹如"微观尺度的精密之眼"，凭借非接触式测量原理，可实现亚微米级甚至纳米级的分辨率，完美应对半导体设备、精密光学等场景中对振动、形变的高灵敏度监测需求。其卓越的抗干扰能力和环境适应性，更使其成为严苛工业环境下的可靠选择。

电容位移传感器则堪称超精密测量的"纳米标尺"。通过极板间电容变化的精确解析，传感器能够实现0.1纳米级的分辨精度，为光刻机、精密检测设备等提供无可比拟的静态与动态测量性能，成为微电子制造和科研实验中不可或缺的精密反馈元件。

纳米级压电致动设备代表着精密运动的"终极操控者"。基于压电陶瓷的逆压电效应，设备可实现纳米级的步进精度和毫秒级的响应速度，满足光学校准、生物芯片操作等应用中对超精密定位的极致要求。其无摩擦、无回程间隙的特性，更突破了传统传动方式的技术局限。

从单一传感器到集成化的纳米级运动解决方案，我们通过多物理场耦合设计和智能控制算法，为半导体装备、精密制造、科研仪器等领域提供全方位的位移测量与运动控制支持。在芯片制造、光学检测、微纳加工等尖端领域，这些技术正持续突破精度极限，推动产业向更精密、更智能的方向发展。

企业简介

见行科技核心研发团队由毕业于中国科学技术大学的博士团队领衔，以精密位移及致动技术为核心，致力于国际领先的纳米级电涡流位移传感器、电容位移传感器、压电位移台等产品开发、生产与销售。相关产品已经在EUV级光刻机、键合设备、半导体量检测设备、原子力显微镜、Miniled巨量转移设备、卫星、火箭、LAMOST望远镜，30万千瓦以上大型汽轮机等组装上成功应用。

主营产品：纳米级电涡流位移传感器、电容位移传感器、纳米级压电致动设备，纳米级运动解决方案。

推介产品

E202 通用型电涡流传感器

产品简介：E202是一款通用型单探头电涡流位移传感器，具有极佳的温度稳定性、线性度和分辨率。

传感器可以检测铁磁性和非铁磁性导体，满足绝大多数电涡流传感器的应用需求。 传感器内置温度补偿模块，在探头所处的环境温度剧烈变化的情况下可大幅稳定传感器输出。 探头的结构设计大大减小了塑料和粘胶的热变形对线圈平面的位置影响，只残余少量的基于外形尺寸的可估算误差。探测线圈的设计使其具有更大的测量范围，直径为D的探头对应的测量范围约为0.4D,并在整个测量范围内保持高稳定性和线性度。

特点：温度稳定性好、线性度高、测量范围宽和适用于磁铁性和非磁铁性导体。

C202 高精度电容位移传感器

产品简介：C202系列是一款具有超高精度的电容传感测量系统。最多支持8通道同时检测，灵活的探头设计可以满足绝大多数电容传感器的应用需求。

特点：分辨率高、线性度高、探头防刮擦和悬浮地应用。

两轴高动态压电柔性铰链位移台

产品简介：

采用柔性铰链系统：柔性铰链系统可实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在极高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。

内置高精度电容传感器:内置电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，有更高的闭环精度和闭环刚度，可支持更高速度的位置控制。

支持ID芯片功能:运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。

高刚度驱动系统：刚度高，动态范围大，可在大负载下实现高速运动控制。

压电螺钉

产品简介：

螺纹驱动的惯性电机：使用惯性驱动原理,压电堆的激励电压是锯齿波,螺杆以2kHz的频率微步旋转,由于螺杆的自锁特性,压电螺钉有很大的保持力，并且在静止状态下不消耗能量。

调节精度高：每个惯性驱动周期螺杆前进或后退约20nm,驱动频率为2kHz时,速度约为2.4mm/min。 紧凑、模块化的设计：外形尺寸紧凑,对于不同行程的型号只需调整螺杆长度，定制方便。

PL121-40 压电惯性位移台

产品简介：

压电惯性驱动+光栅闭环控制:使用惯性原理驱动，积累压电陶瓷形变实现更大位移。内置高精度光栅传感器，可实现高精度闭环控制。

大负载能力:压电位移台水平放置时，法向最大可带5kg负载，轴向最大可带0.4kg负载。

可组合为二维平台:通过将两台设备进行叠放组合，可实现二维平台扫描。

静态零功耗:在全步距模式下，位移台具有断电自锁功能，当位移台处于静止状态时，维持其位置不需要消耗能量,可将控制器断电。

易用的控制软件：制软件提供优异的交互体验，可快速上手，支持用户自定义波形的上传、编辑与保存，波形显示窗口实时显示光栅传感器的位移信息，提升平台移动情况的可视化。

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9月10-12日，安徽见行科技有限公司将在SEMI-e深圳国际半导体展暨集成电路产业创新展与大家面对面交流，展位号：16L55

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