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《膜厚测量黑科技:反射式光学膜厚仪引领行业新变革》

在现代工业与科研范畴,对薄膜厚度和折射率实施精确测量具有举足轻重的意义。国仪光子在膜厚测量技术研发进程中成果斐然,其推出的光学膜厚仪 FILMTHICK - C10 及全自动光学膜厚仪 JY - FILMTHICK - CT18,为诸多行业提供了高精度的测量解决方案。

反射式光学膜厚仪的应用领域

反射式光学膜厚仪在多个关键领域拥有广泛的应用场景,国仪光子的相关产品在这些领域发挥了重要作用。

半导体制造:在半导体制造过程中,精确把控薄膜厚度对于保障半导体器件的性能与可靠性起着决定性作用。国仪光子的光学膜厚仪可用于测量硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体等晶圆上的多种薄膜厚度,涵盖二氧化硅、氮化硅、光刻胶、氧化物/氮化物、工艺薄膜、介电材料、硅或其他半导体膜层等。

平板显示:平板显示领域,如液晶显示器、有机发光二极管等的生产,薄膜厚度的精准控制直接影响着显示效果与质量。国仪光子的设备可用于测量液晶显示中的 OLED、玻璃厚度、聚酰亚胺、LCD、TFT、ITO 与其他 TCO 等薄膜层的厚度。

光学镀膜:光学镀膜行业对光学镜片、滤光片等的薄膜厚度要求极为严苛,以确保光学性能和质量。国仪光子的光学膜厚仪可测量光学镀层中的 HC 硬涂层、AR 抗反射层、AG 防眩光涂层、滤光片、眼镜等的薄膜厚度。

太阳能电池:太阳能电池板上的薄膜厚度对电池的效率和可靠性有着重要影响。国仪光子的设备可测量太阳能电池板上如氮化硅、氧化铝等薄膜的厚度。

生物医学:在生物医学领域,国仪光子的光学膜厚仪可用于测量生物医学中的 Parylene 派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备等薄膜层的厚度。

其他领域:还能够测量蓝宝石镀膜、ITO 玻璃、汽车硬度层厚度、AR 膜、HC 膜、PET 膜等其他介质膜厚度。

反射式膜厚测量的工作原理

反射式膜厚测量是基于光谱反射原理的测量方法,国仪光子的光学膜厚仪遵循此科学原理。通过光源发射光线,使其垂直照射到样品表面,光线经薄膜反射后,利用光谱仪测量反射光的光谱特性。不同厚度和折射率的薄膜会使光的反射强度和相位发生改变,通过分析这些变化,即可计算出薄膜的厚度和折射率。

具体而言,入射到样品表面的光在薄膜上下表面多次干涉后从样品表面出射,光谱仪采集出射光光强。出射光光强与入射光光强之比值即为薄膜的反射率(R = I 出射 / I 入射),该反射率表现为波长的函数,进而得到反射率曲线。

国仪光子光学膜厚仪产品介绍

光学膜厚仪 FILMTHICK - C10

国仪光子光学膜厚仪 FILMTHICK - C10 是一款性能卓越的测量设备。它基于光干涉原理,采用高强度氘钨灯光源,光谱覆盖深紫外到近红外范围,机械结构集成的进口卤钨灯光源使用寿命超过 10000 小时。该设备对样品进行非接触式、无损、高精度测量,可测量反射率、颜色、膜厚等参数。

产品特点

光源优势:采用高强度氘钨灯光源,光谱覆盖范围广,为精确测量提供了良好的光谱条件。

测量方式:非接触式、无损测量,不会对样品造成损伤,同时保证了测量的高精度。

软件功能强大:OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件算法多样,材料数据库丰富,能有效协助用户进行测试分析。

全自动光学膜厚仪 JY - FILMTHICK - CT18

国仪光子全自动光学膜厚仪 JY - FILMTHICK - CT18 同样基于光干涉原理,设计了高稳定测试大平台,采用桥驾式探测头结构,XY 轴超大行程,可测量 1.2x0.7m 的大尺寸样品。一键测试输出自动定位,对样品进行非接触式无损、高精度多点位测量,可测量样品反射率、颜色、膜厚等参数。

产品特点

大尺寸测量:可测量大尺寸样品,满足了一些特殊行业对大尺寸薄膜测量的需求。

多点位测量:可设置数百个测试点位,能更全面地了解样品的薄膜特性。

操作便捷:一键测试输出自动定位,提高了测量效率。

国仪光子的光学膜厚仪凭借先进的技术原理、广泛的应用领域和卓越的产品特点,为各行业的薄膜厚度测量提供了可靠的解决方案,有力推动了相关行业的发展。

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