集成电路产业发展有了新引擎！青山湖科技城打造微纳技术研发开放平台

11月24日，2019青山湖集成电路产业发展研讨会暨毛钧业先生诞辰100周年纪念会在杭州青山湖科技城举行。中国科学院院士，央企、国家级研究院所、国家特聘专家、教授，国内十余家集成电路实力企业首席科学家等400余人出席了会议。会上，青山湖科技城管委会与电子科技大学签订战略合作协议，掀开了科技城校地合作新篇章。

记者了解到，青山湖科技城依托多个国家科技重大专项，培育发展集成电路产业，打造微纳智造小镇，在不到两年时间里集聚了37个总投资260余亿元的产业链项目。

其中，青山湖微纳技术研发开放平台（以下简称微纳平台）是青山湖科技城今年打造的一个重要平台。据了解，微纳平台是以12英寸特色高端芯片工艺研发为核心，覆盖通用芯片设计和测试服务的开放性平台，其主要功能包括电路设计、工艺研发、小批量产、测试分析等。

浙江省自旋电子材料器件与系统重点实验室总监孟皓介绍道，目前，该平台已拥有光刻机等60多台套关键设备、2300平方米洁净室、核心技术骨干专家170余人，可为集成电路企业提供技术研发、创新平台和小批量量产、中试等服务。

青山湖科技城相关负责人表示，青山湖微纳技术研发开放平台，为全国的微纳技术企业、科研机构，提供芯片设计、研发、流片、测试服务。

有了政府的持续推进，外加产学研合作的良好基础，微纳小镇吸引了18个项目落地运行和建设，如驰拓科技新型高端存储芯片研发中试基地全面投用；启尔机电光刻机浸液系统研制与中试基地项目全面投用、科研人员全部入驻；清华大学华卓精科光刻机工件台项目已动建。

研讨会另一项重要成果是青山湖科技城与电子科技大学签订战略框架协议，协议中，双方将共建电子科技大学成果转移服务中心临安分中心，并以此为基础，在科技创新与合作、新兴产业培育、人才培养交流等方面开展对接合作，推动电子科技大学科技研发、技术创新、创新创业人才培养等方面的优秀成果优先向临安转移，实现临安经济的更好更快发展。

资料来源：科技日报、青山湖科技城

编辑：杨柳树校对：柳扬施洋洋